Новый шаг к независимости: Россия разрабатывает собственный станок для резки кремниевых пластин
Изображение: Andrey Suslov/shutterstock.com
Ведомство выделило на этот проект 300 миллионов рублей. Оборудование необходимо изготовить к 30 ноября 2026 года, пишут «Ведомости».
Новое оборудование, по техзаданию, должно быть сопоставимо по функциональности с зарубежными аналогами, выпускаемыми компаниями из Швейцарии, Китая и США. Эти станки способны выполнять сложные операции, такие как отрезка конусов, тестовых шайб и нарезка заготовок на части нужных размеров. Точных данных о количестве подобных станков, уже используемых в России, нет.
Будущий станок должен обеспечивать резку и обработку заготовок из кремния и германия диаметром до 300 мм, а также полуфабрикатов из синтетического сапфира, кварца, арсенида галлия и карбида кремния диаметром до 150 мм.
Такое оборудование необходимо для модернизации производств и развития отечественной силовой электроники, ориентированной на снижение зависимости от импорта, сказано в техзадании.
Станок будет востребован предприятиями, которые занимаются выращиванием монокристаллов из полупроводниковых материалов, ожидают в министерстве. Среди потенциальных пользователей названы несколько крупных компаний, включая тех, кто занимается производством солнечных батарей. Для работы с более дорогими материалами, такими как германий, планируется разработать отдельную модификацию станка.
Оборудование также может заинтересовать предприятия, занимающиеся или планирующие заняться производством пластин для микроэлектроники. Эксперты отмечают, что в настоящее время большинство российских производителей полупроводниковых материалов полагаются на импортные кремниевые пластины, поэтому создание собственного оборудования для их производства — важный шаг на пути к формированию замкнутого цикла в отечественной микроэлектронной промышленности. Пластины необходимы всем производителям интегральных схем и дискретных приборов.
На мировом рынке таких станков доминируют несколько крупных компаний. Meyer Burger — швейцарская компания, специализирующаяся на оборудовании для солнечной энергетики и полупроводниковой промышленности. Их станки для резки кремниевых пластин с использованием алмазных проволок считаются одними из самых высокотехнологичных.
Linton Kayex, базирующаяся в Китае, занимается поставкой станков для резки кристаллов кремния, а также оборудования для выращивания кристаллов и других производственных этапов.
Американская Diamond Wire Technologies специализируется на производстве станков для резки с применением алмазных проволок, что позволяет с высокой точностью нарезать кристаллы кремния на тонкие пластины. Технологии Diamond Wire широко востребованы благодаря их способности минимизировать потери материала при резке.
DISCO Corporation — японский производитель, специализирующийся на производстве оборудования для обработки полупроводников, в том числе станков для резки кремниевых пластин и других полупроводниковых материалов. Компания также выпускает оборудование для шлифовки и полировки пластин.
Швейцарская HCT Shaping Systems также известна своими решениями для резки полупроводниковых материалов, включая кремний. Они разрабатывают оборудование для высокоточной резки, использующее технологии алмазной проволоки и другие методы, которые минимизируют механические повреждения пластин и обеспечивают высокую производительность.
В России производством станков для резки заготовок из кремниевых пластин могла бы заняться компания "Ангстрем", она обладает необходимыми компетенциями и технологической базой для создания оборудования, используемого в производственных процессах микроэлектронной промышленности. НПО "Микрон" и "Крит" также могли бы расширить свои компетенции разработкой такого оборудования.
