Правительство РФ выделит 100 млрд рублей на разработку оборудования для производства полупроводников
В течение 2023-2025 гг. на проведение ОКР по разработке оборудования для производства микро-, СВЧ-, силовой и оптоэлектроники, а также спецматериалов будет направлено более 100 млрд рублей, пишет «КоммерсантЪ» со ссылкой на Минпромторг.
Финансирование организуют за счет субсидирования работ по действующим механизмам господдержки, работ по закупкам по 44-ФЗ в рамках госпрограммы «Научно-технологическое развитие Российской Федерации».
Таким образом, к 2027 году планируется получить полную номенклатуру оборудования для производства микроэлектроники на трех ключевых этапах (выпуск кремниевых пластин, планарный цикл и процедура резки кремния). Также будут субсидировать разработку САПР.
Первую российскую фотолитографическую установку 350 нм хотят получить в следующем году, ее разрабатывает ЗНТЦ.
На ряде этапов производства на российских заводах будет использоваться китайское и белорусское оборудование. Минпромторг запустит 54 профильных ОКР в 2024 г.
Однако есть ряд серьезных проблем.
Так, компетенции для реализации ОКР имеют только предприятия, относящиеся к СМБ, поэтому «они не могут исполнять условия субсидий по 50% софинансирования работ».
Компании испытывают проблемы с получением бюджетных средств на разработку и по 44-ФЗ, который требует от исполнителя опыта в выполнении нужных ОКР.
«У предприятий не хватает ни сотрудников, способных просчитать технологический процесс работы таких установок, ни ученых, обладающих достаточными знаниями в области, например, практической физики»,— пояснил член-корреспондент РАН, замзаведующего кафедрой микро- и наноэлектроники МФТИ Евгений Горнев.